技術(shù)參數(shù)

●測(cè)量溫度：室溫---600°C ;

●控溫精度：±1℃ 支撐能力，

●顯示精度：±0.1℃資源優勢；

●升溫斜率：1-5°C/min；

●測(cè)量精度：0.05%特征更加明顯；

●電阻率：10-5 ～105 Ω.cm ;

●電導(dǎo)率：10-5 ～105 s/cm

●方塊電阻：10-4 ～106 Ω/□估算；

●電阻：10-5 ～105 Ω；

●探針間距：2±0.01mm方便；

●探針壓力：0~2kg可調(diào)基礎上；

●針間絕緣電阻：≥1000MΩ；

●真空腔體漏率標(biāo)準(zhǔn)要小于10-9 Pa?m3/s ;

●樣品：直徑15~30mm應用領域，厚度小于4mm保持競爭優勢；

●設(shè)備尺寸：680mmX450mmX400mm