
壓電半導(dǎo)體的介紹
壓電材料的演變過程基本上是:晶體(天然水晶到人工水晶)→壓
電陶瓷(鈦酸鋇飛躍、鋯鈦酸鉛及鈮鈷酸鉛)→晶體更高效。目前應(yīng)用大的仍
是壓電陶瓷,并作了大量改性工作和尋找新系統(tǒng)自動化方案,另一方面大力培育
人工晶體緊密協作,除常用的水晶外,目前壓電晶體可分兩大類線上線下,即壓電
單晶和壓電半導(dǎo)體發揮重要作用,前者以LiNbO3、LiTaO3為代表后者以CdS數據顯示、
ZnO為代表高質量。壓電半導(dǎo)體是六十年代興起而盛行的材料,為時十年記得牢,
發(fā)展極為迅速註入了新的力量。
壓電半導(dǎo)體即具有壓電性與半導(dǎo)體的物質(zhì)。大致可分為三類:
1更多可能性、Ⅱb-Ⅵb族化合物:CdS去創新、CdSe、ZnO緊迫性、ZnS結構、CdTe等更適合。
2、Ⅲb-Ⅴb族化合物:GaAs溝通協調、GaSb要素配置改革、InAs、InSb等保障性。
3核心技術體系、Ⅳb族元素:Se、Te等持續發展。
其晶體結(jié)構(gòu)大部分為纖維鋅礦形(6mm)或閃鋅礦形(43m)必然趨勢,
故具有壓電。另因有一定的禁帶寬和適當?shù)碾s質(zhì)等級擴大,故具有半
導(dǎo)體多樣性。用e形式表示壓電基本式的電彈矩陣見表1。其晶軸方向與
振動波的見表2新格局。從表中得知明顯,對纖維鋅礦單晶在平行或垂直于C
軸方向加電塌即可;對閃鋅礦單晶顯示,在【111】和【110】方向加電塌
即可充分。這對應(yīng)用參考價值很大。
壓電半導(dǎo)體品種繁多集聚,但目前用得多的是CdS競爭力,其次ZnO,此外
還有CdSe狀況、ZnS等機製性梗阻。其壓電參數(shù)見表3




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