壓電半導(dǎo)體的介紹
壓電材料的演變過(guò)程基本上是:晶體(天然水晶到人工水晶)→壓
電陶瓷(鈦酸鋇深入、鋯鈦酸鉛及鈮鈷酸鉛)→晶體。目前應(yīng)用大的仍
是壓電陶瓷,并作了大量改性工作和尋找新系統(tǒng)一站式服務,另一方面大力培育
人工晶體功能,除常用的水晶外,目前壓電晶體可分兩大類支撐作用,即壓電
單晶和壓電半導(dǎo)體積極性,前者以LiNbO3、LiTaO3為代表后者以CdS解決、
ZnO為代表性能。壓電半導(dǎo)體是六十年代興起而盛行的材料,為時(shí)十年取得明顯成效,
發(fā)展極為迅速基地。
壓電半導(dǎo)體即具有壓電性與半導(dǎo)體的物質(zhì)。大致可分為三類:
1大力發展、Ⅱb-Ⅵb族化合物:CdS約定管轄、CdSe、ZnO集成技術、ZnS新創新即將到來、CdTe等。
2創新的技術、Ⅲb-Ⅴb族化合物:GaAs設計能力、GaSb、InAs有序推進、InSb等適應性。
3、Ⅳb族元素:Se深入開展、Te等更優美。
其晶體結(jié)構(gòu)大部分為纖維鋅礦形(6mm)或閃鋅礦形(43m),
故具有壓電。另因有一定的禁帶寬和適當(dāng)?shù)碾s質(zhì)等級(jí)更為一致,故具有半
導(dǎo)體。用e形式表示壓電基本式的電彈矩陣見(jiàn)表1提升行動。其晶軸方向與
振動(dòng)波的見(jiàn)表2更適合。從表中得知,對(duì)纖維鋅礦單晶在平行或垂直于C
軸方向加電塌即可交流;對(duì)閃鋅礦單晶引人註目,在【111】和【110】方向加電塌
即可。這對(duì)應(yīng)用參考價(jià)值很大規劃。
壓電半導(dǎo)體品種繁多建設,但目前用得多的是CdS共同,其次ZnO,此外
還有CdSe、ZnS等在此基礎上。其壓電參數(shù)見(jiàn)表3
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