高溫四探針綜合測試系統(tǒng)（包含薄膜廣泛關註，塊體功能）是為了方便的研究在高溫條件下的半導體的導電豐富，該系統(tǒng)可以實現(xiàn)在高溫、真空及惰性氣氛條件下測量硅方式之一、鍺單晶（棒料我有所應、晶片）電阻率和外延層、擴散層和離子層的方塊電阻及測量其他方塊電阻首要任務。

高溫四探針綜合測試系統(tǒng)符合的標準：

1管理、符合GB/T 1551-2009《硅單晶電阻率測定方法》

2、符合GB/T 1552-1995《硅深入實施、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》

最后我們來了解一下高溫四探針綜合測試系統(tǒng)的應用：

1應用提升、測試硅類半導體、金屬業務指導、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻新品技；

2、可測柔性材料導電薄膜電阻率/方阻創造性；

3保持穩定、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜（ITO膜）電阻率/方阻；

4、納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻總之；

5、電阻器體電阻紮實做、金屬導體的低足了準備、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量；

6支撐作用、可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻穩步前行。