可評(píng)估薄膜導(dǎo)電的高溫四探針測試儀采用直排四探針法設(shè)計(jì)原理測量宣講手段。主要用于評(píng)估半導(dǎo)體薄膜和薄片的導(dǎo)電反應能力，參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)。重復(fù)性與穩(wěn)定性好競爭激烈，采用雙屏蔽高頻測試線纜投入力度，提高測試參數(shù)的精確度，同時(shí)學習。本設(shè)備也可應(yīng)用于產(chǎn)品檢測以及新材料電學(xué)研究等用途技術。

高溫四探針測試儀的測量原理：

• 測量電阻率的方法很多，如三探針法、電容-電壓法結構重塑、擴(kuò)展電阻法等，四探針法則是一種廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法參與能力，高溫四探針測試儀采用經(jīng)典直排四探針原理法治力量，同時(shí)采用了雙電測組合四探針法長期間。

• 經(jīng)典的直排四探針法測試電阻率，要求使用等間距的探針技術研究，如果針間距離不等或探針有游移是目前主流，就會(huì)造成實(shí)驗(yàn)誤差。當(dāng)被測片較小或在大片邊緣附近測量時(shí)現場，要求計(jì)入電場畸變的影響進(jìn)行邊界修正便利性。

• 采用雙電測組合四探針的出現(xiàn)，為提高薄膜電阻和體電阻率測量準(zhǔn)確度創(chuàng)造了有利條件高質量。

高溫四探針測試儀采用雙電測組合四探針法的優(yōu)勢：

可按用戶要求訂制非標(biāo)產(chǎn)品

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