固體電介質(zhì)電擊穿的理論是以在介質(zhì)中發(fā)生碰撞電離為基礎(chǔ)的。它不包括由邊緣效應(yīng)形式、介質(zhì)劣化等因素引起的擊穿擴大。

固體電介質(zhì)的中間存在少量處于導(dǎo)電能量狀態(tài)的電子（傳導(dǎo)電子）。它在電場(chǎng)加速下將與晶格點(diǎn)上的原子碰撞傳遞，但因固體介質(zhì)中的原子相互聯(lián)系十分緊密讓人糾結，所以必須考慮傳導(dǎo)電子與晶格碰撞。

由碰撞電離引起擊穿有下述兩種解釋：固體擊穿理論是考慮單位時(shí)間傳導(dǎo)電子從電場(chǎng)中獲得的能量與單位時(shí)間內(nèi)由于碰撞而失去的能量之間實事求是，因不平衡而引起擊穿自動化方案；另一種擊穿理論則認(rèn)為：傳導(dǎo)電子由電場(chǎng)作用得到了可使晶格原子電離的能量,產(chǎn)生了電子崩，當(dāng)電子崩發(fā)展到足夠強(qiáng)時(shí)結構，引起固體電介質(zhì)擊穿。

電壓擊穿的特點(diǎn)：電壓作用時(shí)間短落到實處，擊穿電壓高效果，電介質(zhì)溫度不高；擊穿場(chǎng)強(qiáng)與電場(chǎng)均勻程度有密切關(guān)系營造一處，而與周?chē)h(huán)境溫度的高低幾乎無(wú)關(guān)服務水平。

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