高溫測量鐵電參數(shù)測試儀本測試系統(tǒng)采用虛地模式測量電路，與傳統(tǒng)的Sawyer-Tower模式相比管理，此電路取消了外接電容豐富內涵，可減小寄生元件的影響。此電路的測試精度僅取決于積分器積分電容的精度效率和安，減少了對測試的影響環(huán)節(jié)就能壓製，比較容易定標(biāo)和，并且能實(shí)現(xiàn)較高的測量產能提升，它不僅能畫出鐵電薄膜的電滯回線發揮，還可以定量得到鐵電薄膜材料的飽和化ps、剩余化Pr適應能力、矯頑場Ec設施、漏電流Ik等參數(shù)，以及對鐵電薄膜材料鐵電疲勞快速增長、鐵電保持的測試要求。能夠測量鐵電薄膜的鐵電。儀器采用一體化設(shè)計通過活化，實(shí)現(xiàn)測試結(jié)果全數(shù)字化開放以來，操作簡單方便等形式。