激光測振儀與懸臂梁聯(lián)用技術(shù)在薄膜應(yīng)變及壓電系數(shù)測量中的應(yīng)用

一有很大提升空間、技術(shù)背景與設(shè)備基礎(chǔ)

北京華測試驗儀器有限公司（以下簡稱"華測儀器"）作為專注于材料電學(xué)性能檢測的高新技術(shù)企業(yè)要求，其功能材料電學(xué)綜合測試系統(tǒng)為薄膜測量提供了高精度平臺。在壓電薄膜研究中認為，激光測振儀與懸臂梁的配合測量方案運行好，可實現(xiàn)對薄膜應(yīng)變及壓電系數(shù)E31、D31紮實、E33的精準(zhǔn)標(biāo)定同期，為傳感器、儲能器件研發(fā)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持的有效手段。

二共同努力、測量原理與方法

1、懸臂梁應(yīng)變測量體系

采用定制化懸臂梁裝置真正做到，通過施加機械載荷誘導(dǎo)薄膜產(chǎn)生應(yīng)變發展邏輯。華測儀器的極化裝置與高壓放大器可精確控制加載條件，配合激光干涉儀實時捕捉微米級形變數(shù)據(jù)追求卓越，應(yīng)變靈敏度強發展機遇。

華測儀器薄膜懸臂梁測試夾具

2創新延展、壓電系數(shù)測量技術(shù)路徑

橫向壓電系數(shù)E31/D31：通過測量懸臂梁彎曲時薄膜表面電荷密度（D31）與機械應(yīng)變（S1）的對應(yīng)關(guān)系，結(jié)合公式E31=ΔD3/ΔS1實現(xiàn)計算縱向壓電系數(shù)E33：利用垂直方向極化裝置施加電場，通過激光干涉儀測量厚度方向應(yīng)變響應(yīng)長效機製，依據(jù)E33=ΔS3/ΔE3進行推導(dǎo)。

三聽得進、系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢

激光測振儀配合高低溫冷熱臺對壓電器件測量

1.連接到Huace FE-3000鐵電分析儀上的激光測振儀可精確測量沉積在懸臂和膜上或沉積在基板上的壓電薄膜的壓電系數(shù)深入；

2.鐵電測試系統(tǒng)與激光測振儀相結(jié)合，在D33振動過程中可以達到0.2pA(0.02nm)分辨率全技術方案；

3.高低溫冷熱臺可以添加到薄膜壓電測試套件中基本情況，可以在單個樣品在 -196℃至 600℃℃的溫度中進行測量。

激光測振儀配合懸臂梁測量對薄膜應(yīng)變測量

激光測振儀與薄膜壓電測試(E31)相結(jié)合重要的，可測量沉積在懸臂上的壓電薄膜的壓電系數(shù)(E31充分發揮、D31和E33)。 應(yīng)用場景：壓電疲勞、壓電老化能運用、過程監(jiān)控。

華測儀器測試夾具