半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺(tái)

功能：

可提供直流電壓/電流輸出，直流電壓/電流測量和交流信號(hào)輸出以及阻抗測量

主要技術(shù)指標(biāo)：

探針臺(tái)：

1.探針臺(tái)主機(jī)：卡盤XY運(yùn)動(dòng)范圍200mm*200mm,Z軸運(yùn)動(dòng)范圍25mm

2.絲桿軸承確保移動(dòng)估算，分辨率3.5um

3.針座：精度0.7um

4.加熱臺(tái): 溫度范圍室溫-400℃

半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺(tái)

半導(dǎo)體參數(shù)測試儀

1.直流I-V測試：

具有4路SMU，其中2路中等功率SMU達到，2路高分辨率SMU, 可同時(shí)測量電壓分辨率0.5μV深入各系統、電流分辨率0.1fA

2.C-V測試：頻率1KHz-5MHz；偏置電壓：±25V的可能性；測量精度±0.2 %

3.可實(shí)現(xiàn)C-V和I-V測量間自動(dòng)切換進一步推進，不會(huì)影響測量精度

4.脈沖IV：

提供兩路快速IV/脈沖輸出，具有任意波形產(chǎn)生功能

脈沖寬度：50ns雙重提升；脈沖電平范圍：-5V~+5V增強，+/-10V~0V (50 Ω負(fù)載)；電壓測量精度：±0.1%讀值, ±0.1% 量程結果；電流測量精度：±0.1% 讀值, ± 0.2% 量程

主要用途

支持二極管、三極管重要意義、MOS管等半導(dǎo)體器件以及材料的直流電流-電壓(I-V)測量規則製定，準(zhǔn)靜態(tài)和中頻電容-電壓(C-V)測量，時(shí)域測量等引領。

半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺(tái)/系統(tǒng)集成

半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺(tái)/系統(tǒng)集成