操控性好高溫四探針測量系統(tǒng)Huace-600測試儀器

操控性好高溫四探針測量系統(tǒng)Huace-600測試儀器概述：

●Huace-600高溫四探針測量系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以測量硅積極回應、鍺單晶（棒料重要性、晶片）電阻率、測定硅外延層有所提升、擴散層和離子注入層的方塊電阻 以及測量導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜的方塊電阻聽得進，該設備按照單晶硅物理測試方法標準設計的。

●采用由四端測量方法測試電阻率系統(tǒng)與高溫試驗箱為一體的的高溫測試系統(tǒng)先進水平，滿足半導體及導體材料因溫度變化對電阻值變化的 測量要求便利性，通以在高溫 、真空足夠的實力、氣氛的條件下測量導電材料電阻和電阻率緊迫性，可以分析被測樣的電阻和電阻率隨溫度、 時間變化的曲 線． 目前主要針對圓片更適合、方塊高效、長條等樣品進行測試，可以廣泛用于碳系導電材料要素配置改革、 金屬系導電材料體系、 金屬氧化物系導電材料、結 構型高分子導電材料帶動產業發展、復合導電材料等材料的電阻率測量責任製。 過測控軟件可以顯示出溫度與電阻，電阻率倍增效應，電導率數(shù)據(jù)的變化曲 線規則製定。

儀器特點：

1製造業、可以測量高溫、真空關規定、氣氛下薄膜方塊電阻和薄層電阻率發展基礎；

2、軟件建強保護、觸摸屏同期、高溫爐等集成于一體，可以進行可視化操作使命責任；

3效果、可實現(xiàn)純凈氣氛條件下的測量；同時保證探針在高溫下不氧化合規意識；

4密度增加、采用labview軟件開發(fā)，操控性現場、兼容性好高端化、方便升級集成應用；

5探討、可自動調(diào)節(jié)樣品測試電壓，探針和薄膜接觸閃絡現(xiàn)象高效流通；

6調解製度、控溫和測溫采用同一個傳感器，保證樣品每次采集的溫度都是樣品實際溫度功能；

7應用的因素之一、可配套使用Keithley2400或2600數(shù)字多用表；

特點:

● 多級循環(huán)溫度采集技術： 設備采用PID算法預期，以及多級循環(huán)溫度采集以保證溫度的有效值敢於監督。控溫和測溫采用同一個傳感器結構，保證樣品每次采集的溫度都 是樣品實際溫度.

● 雙系統(tǒng)互鎖技術及隔離屏蔽技術： 本設備不僅具備過壓重要的作用、過流保護系統(tǒng)，雙系統(tǒng)互鎖機制規模最大，當任何元器件出現(xiàn)問題或單系統(tǒng)出現(xiàn)故障時穩中求進，將瞬間切斷 電源。采用低通濾波電流檢測技術以保證采集電流的有效值 最深厚的底氣，以及電流抗干擾的屏蔽協同控製。

● SPWM電子升壓技術 目前設備大都采用SPWM電子升壓技術，這一技術具有升壓速度平穩(wěn)品質，精度高利用好。便于維護等優(yōu)點是調(diào)壓器深入各系統。