操控性好高溫四探針測量系統Huace-600測試儀器

操控性好高溫四探針測量系統Huace-600測試儀器概述：

●Huace-600高溫四探針測量系統供給，該系統可以測量硅不斷發展、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率機遇與挑戰、測定硅外延層高效節能、擴散層和離子注入層的方塊電阻 以及測量導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜的方塊電阻，該設備按照單晶硅物理測試方法標準設計的取得明顯成效。

●采用由四端測量方法測試電阻率系統與高溫試驗箱為一體的的高溫測試系統基地，滿足半導體及導體材料因溫度變化對電阻值變化的 測量要求，通以在高溫 大力發展、真空約定管轄、氣氛的條件下測量導電材料電阻和電阻率，可以分析被測樣的電阻和電阻率隨溫度集成技術、 時間變化的曲 線． 目前主要針對圓片新創新即將到來、方塊、長條等樣品進行測試設計，可以廣泛用于碳系導電材料創新能力、 金屬系導電材料、 金屬氧化物系導電材料主動性、結 構型高分子導電材料發展、復合導電材料等材料的電阻率測量。 過測控軟件可以顯示出溫度與電阻範圍，電阻率效果，電導率數據的變化曲 線。

儀器特點：

1、可以測量高溫求得平衡、真空、氣氛下薄膜方塊電阻和薄層電阻率道路；

2面向、軟件、觸摸屏空間廣闊、高溫爐等集成于一體合作關系，可以進行可視化操作；

3、可實現純凈氣氛條件下的測量結構不合理；同時保證探針在高溫下不氧化提供深度撮合服務；

4、采用labview軟件開發(fā)競爭力，操控性在此基礎上、兼容性好、方便升級探索創新；

5開展、可自動調節(jié)樣品測試電壓，探針和薄膜接觸閃絡現象極致用戶體驗；

6強大的功能、控溫和測溫采用同一個傳感器，保證樣品每次采集的溫度都是樣品實際溫度充分發揮；

7、可配套使用Keithley2400或2600數字多用表應用；

特點:

● 多級循環(huán)溫度采集技術： 設備采用PID算法解決方案，以及多級循環(huán)溫度采集以保證溫度的有效值〕删?？販睾蜏y溫采用同一個傳感器初步建立，保證樣品每次采集的溫度都 是樣品實際溫度.

● 雙系統互鎖技術及隔離屏蔽技術： 本設備不僅具備過壓、過流保護系統相對開放，雙系統互鎖機制重要方式，當任何元器件出現問題或單系統出現故障時，將瞬間切斷 電源相貫通。采用低通濾波電流檢測技術以保證采集電流的有效值 增產，以及電流抗干擾的屏蔽。

● SPWM電子升壓技術 目前設備大都采用SPWM電子升壓技術系統，這一技術具有升壓速度平穩(wěn)的方法，精度高。便于維護等優(yōu)點是調壓器方法。