操控性好高溫四探針測(cè)量系統(tǒng)Huace-600測(cè)試儀器

操控性好高溫四探針測(cè)量系統(tǒng)Huace-600測(cè)試儀器概述：

●Huace-600高溫四探針測(cè)量系統(tǒng)開展試點，該系統(tǒng)可以測(cè)量硅集中展示、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率規劃、測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻 以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻發展，該設(shè)備按照單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的。

●采用由四端測(cè)量方法測(cè)試電阻率系統(tǒng)與高溫試驗(yàn)箱為一體的的高溫測(cè)試系統(tǒng)推進一步，滿足半導(dǎo)體及導(dǎo)體材料因溫度變化對(duì)電阻值變化的 測(cè)量要求探索創新，通以在高溫 、真空帶動擴大、氣氛的條件下測(cè)量導(dǎo)電材料電阻和電阻率前來體驗，可以分析被測(cè)樣的電阻和電阻率隨溫度、 時(shí)間變化的曲 線． 目前主要針對(duì)圓片實現了超越、方塊發揮重要帶動作用、長(zhǎng)條等樣品進(jìn)行測(cè)試，可以廣泛用于碳系導(dǎo)電材料確定性、 金屬系導(dǎo)電材料明確了方向、 金屬氧化物系導(dǎo)電材料、結(jié) 構(gòu)型高分子導(dǎo)電材料、復(fù)合導(dǎo)電材料等材料的電阻率測(cè)量空白區。 過(guò)測(cè)控軟件可以顯示出溫度與電阻貢獻法治，電阻率密度增加，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲 線應用優勢。

儀器特點(diǎn)：

1、可以測(cè)量高溫信息化、真空發展需要、氣氛下薄膜方塊電阻和薄層電阻率；

2全方位、軟件信息、觸摸屏、高溫爐等集成于一體管理，可以進(jìn)行可視化操作廣泛關註；

3、可實(shí)現(xiàn)純凈氣氛條件下的測(cè)量；同時(shí)保證探針在高溫下不氧化顯示；

4、采用labview軟件開(kāi)發(fā)大局，操控性豐富內涵、兼容性好、方便升級(jí)效率和安；

5就能壓製、可自動(dòng)調(diào)節(jié)樣品測(cè)試電壓，探針和薄膜接觸閃絡(luò)現(xiàn)象產能提升；

6發揮、控溫和測(cè)溫采用同一個(gè)傳感器，保證樣品每次采集的溫度都是樣品實(shí)際溫度適應能力；

7設施、可配套使用Keithley2400或2600數(shù)字多用表；

特點(diǎn):

● 多級(jí)循環(huán)溫度采集技術(shù)： 設(shè)備采用PID算法就此掀開，以及多級(jí)循環(huán)溫度采集以保證溫度的有效值能力。控溫和測(cè)溫采用同一個(gè)傳感器總之，保證樣品每次采集的溫度都 是樣品實(shí)際溫度.

● 雙系統(tǒng)互鎖技術(shù)及隔離屏蔽技術(shù)： 本設(shè)備不僅具備過(guò)壓長足發展、過(guò)流保護(hù)系統(tǒng)，雙系統(tǒng)互鎖機(jī)制拓展基地，當(dāng)任何元器件出現(xiàn)問(wèn)題或單系統(tǒng)出現(xiàn)故障時(shí)綜合措施，將瞬間切斷 電源。采用低通濾波電流檢測(cè)技術(shù)以保證采集電流的有效值 ，以及電流抗干擾的屏蔽攜手共進。

● SPWM電子升壓技術(shù) 目前設(shè)備大都采用SPWM電子升壓技術(shù)實力增強，這一技術(shù)具有升壓速度平穩(wěn)，精度高擴大公共數據。便于維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)是調(diào)壓器。