簡要描述:復合導電材料高溫四探針測試機Huace-600,該系統(tǒng)可以測量硅、鍺單晶(棒料開放以來、晶片)電阻率等形式、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻 以及測量導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜的方塊電阻組合運用,該設備按照單晶硅物理測試方法標準設計的的特點。
產(chǎn)品分類
Product Category詳細介紹
品牌 | HUACE/北京華測 | 電動機功率 | *kW |
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外形尺寸 | 680X450X400mm | 重量 | 20kg |
應用領域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 | 測量溫度 | 室溫---600°C? |
控溫精度 | ±1℃? | 顯示精度 | ±0.1℃ |
樣品 | 直徑15~30mm,厚度小于4mm |
復合導電材料高溫四探針測試機Huace-600
復合導電材料高溫四探針測試機Huace-600概述:
●Huace-600高溫四探針測量系統(tǒng)稍有不慎,該系統(tǒng)可以測量硅探索、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率全面協議、測定硅外延層重要作用、擴散層和離子注入層的方塊電阻 以及測量導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜的方塊電阻,該設備按照單晶硅物理測試方法標準設計的講實踐。
●采用由四端測量方法測試電阻率系統(tǒng)與高溫試驗箱為一體的的高溫測試系統(tǒng)提升,滿足半導體及導體材料因溫度變化對電阻值變化的 測量要求,通以在高溫 相關性、真空、氣氛的條件下測量導電材料電阻和電阻率製高點項目,可以分析被測樣的電阻和電阻率隨溫度的必然要求、 時間變化的曲 線. 目前主要針對圓片、方塊、長條等樣品進行測試狀況,可以廣泛用于碳系導電材料範圍和領域、 金屬系導電材料、 金屬氧化物系導電材料長遠所需、結(jié) 構(gòu)型高分子導電材料形式、復合導電材料等材料的電阻率測量。 過測控軟件可以顯示出溫度與電阻非常完善,電阻率傳遞,電導率數(shù)據(jù)的變化曲線。
儀器特點:
1不斷完善、可以測量高溫發揮效力、真空、氣氛下薄膜方塊電阻和薄層電阻率勞動精神;
2穩定發展、軟件、觸摸屏明顯、高溫爐等集成于一體更好,可以進行可視化操作;
3基礎上、可實現(xiàn)純凈氣氛條件下的測量安全鏈;同時保證探針在高溫下不氧化;
4保供、采用labview軟件開發(fā)能力建設,操控性、兼容性好技術創新、方便升級醒悟;
5、可自動調(diào)節(jié)樣品測試電壓生產體系,探針和薄膜接觸閃絡現(xiàn)象新模式;
6、控溫和測溫采用同一個傳感器高質量,保證樣品每次采集的溫度都是樣品實際溫度應用情況;
7、可配套使用Keithley2400或2600數(shù)字多用表;
特點:
● 多級循環(huán)溫度采集技術(shù): 設備采用PID算法也逐步提升,以及多級循環(huán)溫度采集以保證溫度的有效值∧芰退??販睾蜏y溫采用同一個傳感器組織了,保證樣品每次采集的溫度都 是樣品實際溫度.
● 雙系統(tǒng)互鎖技術(shù)及隔離屏蔽技術(shù): 本設備不僅具備過壓健康發展、過流保護系統(tǒng),它雙系統(tǒng)互鎖機制飛躍,當任何元器件出現(xiàn)問題或單系統(tǒng)出現(xiàn)故障時堅實基礎,將瞬間切斷 電源。采用低通濾波電流檢測技術(shù)以保證采集電流的有效值 大數據,以及電流抗干擾的屏蔽前景。
● SPWM電子升壓技術(shù) 目前設備大都采用SPWM電子升壓技術(shù),這一技術(shù)具有升壓速度平穩(wěn),精度高長效機製。便于維護等優(yōu)點是調(diào)壓器。
技術(shù)參 數(shù) | ●測量溫度:室溫---600°C ; |
●控溫精度:±1℃ 組成部分, | |
●顯示精度:±0.1℃深入闡釋; | |
●升溫斜率:1-5°C/min; | |
●測量精度:0.05%高效化; | |
●電阻率:10-5 ~105 Ω.cm ; | |
●電導率:10-5 ~105 s/cm | |
●方塊電阻:10-4 ~106 Ω/□大大提高; | |
●電阻:10-5 ~105 Ω; | |
●探針間距:2±0.01mm完成的事情; | |
●探針壓力:0~2kg可調(diào)調整推進; | |
●針間絕緣電阻:≥1000MΩ; | |
●真空腔體漏率標準要小于10-9 Pa?m3/s ; | |
●樣品:直徑15~30mm研究成果,厚度小于4mm發展契機; | |
●設備尺寸:680mmX450mmX400mm |
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