
四探針測試技術(shù)是半導體生產(chǎn)中主要監(jiān)測手段之一堅持好,并且在半導體材料的測量中發(fā)揮著越來越重要的作用即將展開。四探針測試技術(shù)是一種測量技術(shù),在有些情況下還需要有高分辨率特性。每一種四探針法對探針的結(jié)構(gòu)傳承、位置和針尖距都有不同的要求,一般情況下建言直達,針距都是很小的多種,可能低于1mm。在大片徑樣品測量中充分發揮,要盡可能地減小測量區(qū)域發展成就,以便好地觀測樣品電阻率的不均勻性動力。
鑒于以上原因,在測量時需要對測試臺互動式宣講、樣品和探針都進行細微的實時監(jiān)測效高性,保證測量是在允許的情況下進行的。但是人的肉眼的分辨率有限自動化,直接依靠肉眼觀測容易疲勞而產(chǎn)生誤判提升,而且不能進行記錄,會給測量結(jié)果帶來很大的誤差意向。通常情況下可以通過顯微鏡解決肉眼分辨率低的問題意料之外,但是檢測起來還是相當麻煩。視頻采集技術(shù)的發(fā)展可以很好地解決以上問題形式,能對測試過程進行圖像采集置之不顧、記錄和分析,達到實時監(jiān)測的要求數字化,而且有很高的分辨率方便,方便測量員對測量過程的控制。
視頻采集技術(shù)在四探針測量中發(fā)揮著重要作用各領域,主要體現(xiàn)在兩個方面:
1)對顯微鏡監(jiān)測對象的圖像進行實時采集應用領域;
2)對采集到的視頻數(shù)據(jù)進行處理,包括分析進行培訓、記錄和顯示發展機遇。一般可以借助計算機實現(xiàn)視頻信息的記錄與顯示,從而使得傳統(tǒng)的探針測試臺與計算機技術(shù)緊密地結(jié)合起來法治力量。
視頻采集技術(shù)的引進實現(xiàn)了對四探針測量過程真正意義上實時監(jiān)測全技術方案,提高了測試儀的控制精que性,從而提高了測量結(jié)果的精度和準確性共享,尤其對觀測樣品電阻率的不均勻性有很大的幫助信息化。

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