簡(jiǎn)要描述:HCTZ-2S華測(cè)四探針測(cè)試儀器是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備質生產力。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器非常激烈。儀器由主機(jī)提升行動、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭技術交流、計(jì)算機(jī)等部分組成交流,測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析關註,然后以表格溝通協調,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
品牌 | HUACE/北京華測(cè) | 價(jià)格區(qū)間 | 1萬(wàn)-3萬(wàn) |
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自動(dòng)化度 | 全自動(dòng) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池 |
產(chǎn)品名稱:華測(cè)四探針測(cè)試儀
產(chǎn)品型號(hào):HCTZ-2S
品牌:北京華測(cè)
一、產(chǎn)品介紹
HCTZ-2S華測(cè)四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備在此基礎上。儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭越來越重要的位置、計(jì)算機(jī)等部分組成問題分析,測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析解決方案,然后以表格不負眾望,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
HCTZ-2S雙電測(cè)數(shù)字式四探針試驗(yàn)儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量交流研討。利用電流探針推動並實現、電壓探針的變換,采用兩次電測(cè)量順滑地配合,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析更加完善,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響上高質量,它與單電測(cè)直線或方形四探針相比精準調控,大大提高精確度,也可應(yīng)用于產(chǎn)品檢測(cè)以及新材料電學(xué)研究等用途建設應用。
四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序優化程度,通過(guò)此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
測(cè)試程序控制四探針試驗(yàn)儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)應用的因素之一,把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析基礎,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄實踐者、顯示出來(lái)管理。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中豐富,讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。
1善於監督、使用幾何尺寸十分精確的紅寶石軸承大局,量具精度的硬質(zhì)合金探針,在寶石導(dǎo)孔內(nèi)運(yùn)動(dòng)數據,持久耐磨效率和安,測(cè)量精度高、重復(fù)性好邁出了重要的一步。
A.探頭間距1.00㎜
B.探針機(jī)械游率:±0.3%
C.探針直徑0.5㎜
D.探針材料:碳化鎢去創新,常溫不生銹
E探針間及探針與其他部分之間的絕緣電阻大于109歐姆。
手動(dòng)測(cè)試架探頭上下由手動(dòng)操作體系,可以用作斷面單晶棒和硅片測(cè)試足夠的實力,探針頭可上下移動(dòng)距離:120mm,測(cè)試臺(tái)面200x200(mm)提高。
三全面闡釋、產(chǎn)品應(yīng)用
HCTZ-2S四探針試驗(yàn)儀采用四探針雙電測(cè)量方法,適用于生產(chǎn)企業(yè)結構、高等院校適應性強、科研部門(mén),是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料在高溫競爭力所在、真空及氣氛條件下測(cè)量的一種重要的工具能力建設。本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示先進的解決方案,無(wú)需人工計(jì)算攜手共進,并帶有溫度補(bǔ)償功能。采用芯片控制自然條件,恒流輸出擴大公共數據,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便體系流動性,配備10英寸觸摸屏設計標準,軟件可保存和打印數(shù)據(jù),自動(dòng)生成報(bào)表助力各行;本儀器可顯示電阻經過、電阻率、方阻互動互補、溫度核心技術體系、單位換算、溫度系數(shù)力度、電流新產品、電壓、探針形狀持續發展、探針間距更加廣闊、厚度、電導(dǎo)率深入,配備不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求形式。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu)。
四一站式服務、產(chǎn)品特點(diǎn)
2.本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置三個(gè)數(shù)字表功能,在測(cè)量電阻率的同時(shí),一塊數(shù)字表適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化支撐作用,及時(shí)掌控測(cè)量電流積極性,一塊顯示2攻堅克難、3探針間的測(cè)量電壓,另一塊是顯示當(dāng)前1高效節能、4探針測(cè)量使用的電壓,可以適當(dāng)調(diào)整測(cè)量電壓避免材料耐壓不夠而電壓擊穿被測(cè)材料取得明顯成效。
3.主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源基地,使測(cè)量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開(kāi)關(guān)大力發展,在測(cè)量某些薄層材料時(shí)約定管轄,可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生,好地保護(hù)薄膜集成技術。采用低通濾波電流檢測(cè)技術(shù)以保證采集電流的有效值 新創新即將到來,以及電流抗干擾的屏蔽。
4.探針采用碳化鎢硬質(zhì)合金創新的技術,硬度高設計能力、常溫不生銹,探針游移率在0.1~0.2%有序推進。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度適應性。本機(jī)如加配測(cè)量軟件,測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度深入開展、直徑更優美、探針間距的修正,并計(jì)算、打印出硅片電阻率更為一致、徑向電阻率的大百分變化、平均百分變化堅定不移、徑向電阻率不均勻度落地生根,給測(cè)量帶來(lái)很大方便。軟件平臺(tái)
5.HCTZ-800系統(tǒng)搭配Labview系統(tǒng)開(kāi)發(fā)的hcpro軟件交流,具備彈性的自定義功能集中展示,可進(jìn)行電壓、電流規劃。
6.儀器通過(guò)USB轉(zhuǎn)RS232連接線與電腦連接建設,軟件可對(duì)四探針電阻率測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理并修正測(cè)量數(shù)據(jù),特定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)格式發展,顯示變化曲線,兼容性:適用于通用電腦
7.測(cè)試系統(tǒng)的軟件平臺(tái)hcpro,符合導(dǎo)體推進一步、半導(dǎo)體材料的各項(xiàng)測(cè)試需求探索創新,具備穩(wěn)定性和安an全性開展,并具備斷電資料的保存功能,圖像資料可保存恢復(fù)前來體驗。兼容XP簡單化、win7、win10系統(tǒng)發揮重要帶動作用。
具有試驗(yàn)電壓設(shè)置功能;
可選擇試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)
可選擇是否自定義或自動(dòng)試驗(yàn)
截止條件:時(shí)間/電壓/電流;
語(yǔ)音提示:可選擇是否語(yǔ)音提示功能明確了方向。
統(tǒng)計(jì)報(bào)告:可自定報(bào)表格式
可生出PDF去完善、CSV、XLS文件格式
分析功能:可對(duì)測(cè)試的數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)必然趨勢。大/小值設備、平均值等。
六文化價值、技術(shù)參數(shù)
測(cè)量范圍
電 阻:1×10-4~2×105Ω促進善治, 分辨率:1×10-5~1×102Ω
電阻率:1×10-4~2×105Ω-cm, 分辨率:1×10-5~2×102Ω-cm
方 阻:5×10-4~2×105Ω/□單產提升, 分辨率:5×10-5~1×102Ω/□
數(shù)字電壓表
量程:20.00mV~2000mV
誤差:±0.1%讀數(shù)±2字
數(shù)控恒流源
量程:0.1μA脫穎而出,1μA,10μA的方法,100μA積極影響,1mA,10mA生產創效,100mA,1A
誤差:±0.1%讀數(shù)±2字
四探針探頭
碳化鎢探針:Ф0.5mm豐富,直流探針間距1.0mm,探針壓力:0~2kg可調(diào)
薄膜方阻探針:Ф0.7mm顯示,直流或方形探針間距2.0mm善於監督,探針壓力:0~0.6kg可調(diào)
七、注意事項(xiàng)
1豐富內涵、儀器操作前請(qǐng)您仔細(xì)閱讀使用說(shuō)明書(shū)數據,規(guī)范操作
2、輕拿輕放就能壓製,避免儀器震動(dòng)邁出了重要的一步,水平放置,垂直測(cè)量
3發揮、儀器不使用時(shí)請(qǐng)切斷電源品牌,連接線無(wú)需經(jīng)常拔下,避免灰塵進(jìn)入航空插引起短接等現(xiàn)象
4、探針筆測(cè)試結(jié)束節點,套好護(hù)套快速增長,避免人為斷針
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